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產地:英國 品牌:牛津
該設備有較高的靈活性進行刻蝕和/或沉積。系統規格可根據應用進行調節,從而實現更快的和可重復的工藝結果。
離子束可實現多種模式功能: 1. 離子束刻蝕(IBE) 2. 反應離子束刻蝕(RIBE) 3. 化學輔助離子束刻蝕( CAIBE ) 4. 離子束濺射沉積( IBSD ) 5. 離子輔助濺射沉積( IASD )
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