產地：英國
品牌：Thermco
產品線包含臥式擴散爐、氧化爐、退火爐、合金化爐及LPCVD等，在許多的半導體制造廠里都有安裝應用。
1. 根據基片尺寸以及產量要求的不同，HTR系列可分為大批量生產型5100/5200系列（6英寸）、科研型2400系列（4英寸）/2600系列（6英寸）/2800系列（8英寸）等；
2. 可處理4~10英寸的基片，每管處理能力分別可達25片、50片、100片及更多；
3. 根據配置不同的工藝氣源及溫度控制范圍，各型號的產品均可用于LPCVD、擴散及氧化等熱處理反應工藝。
4. 擴散爐由的Thermco TMX系統控制。TMXpc控制系統融合了前代TMX的配方編輯和控制模式與可靠的硬件和圖形化操作功能。該設備有一臺主用戶操作電腦MUX用來編輯配方和查看狀態，且每條管道都有獨立的控制電腦。
如需了解更詳細的設備信息，敬請與我們聯系。
