產地：韓國
品牌：Midas
該光刻機具備較高的對準精度，CCD顯示屏對準更為方便，液晶觸摸屏操作，采用歐司朗紫外燈，壽命長。
1. 基片尺寸：4、6、8、12、25英寸，其他尺寸可定制
2. 光束均勻性：<±3%
3. 曝光時間可調范圍：0.1 to 999.9秒
4. 對準精度：0.6-1微米 分辨率：1微米
5. 光束輸出強度：15-25mW/cm2
6. 光源強度可控；紫外曝光，深紫外曝光(Option)
7. 曝光模式：真空接觸模式(接觸力可調),Proximity接近模式, 投影模式
8. 可雙面對準，可雙面光刻，具有IR和CCD模式
9. 特殊的基底卡盤可定做
10. 具有楔形補償功能
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