產地：美國
品牌：KSA
高效的薄膜熱應力測量系統，具有MOS多光束技術，使KSA公司榮獲2008 Innovation of the Year Awardee！主要特點：
1.? 溫度范圍RT~1000°C，應力測量范圍0.5MPa到4×100GPa，曲率重復性<2×10-5 1/m
2.? 樣品快速熱處理功能，樣品快速冷卻處理功能
3.? 溫度閉環控制功能，保證較好的溫度均勻性和精度
4.? 實時應力VS.溫度曲線
5.? 實時曲率VS.溫度曲線
6.? 程序化控制掃描模式：選定區域、多點線性掃描、全面積掃描
7.? 成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應力成像分析
8.? 測量功能：曲率、曲率半徑、應力分布、應力和翹曲等
KSA晶圓薄膜應力測量基于不同應用，有多種規格可選，如需了解不同型號設備更詳細的信息，敬請與我們聯系。
