產地：美國
品牌：SemiProbe
SemiProbe的模塊化結構設計，可以使探針臺在一個基本平臺的基礎上不斷的進行升級，且升級可在客戶現場經行，機臺不需返廠。由手動探針臺升級為半自動探針臺，半自動探針臺升級為全自動探針臺，或者6”升級為8”，8”升級為12”，增加密閉測試倉，增加高低溫等。
直流探針座和RF探針座通用，用戶只要一種探針座，換上直流或RF探針，即可做不同的測試，方便又節省成本。其超高精度的亞微米級探針座，保證了高端精密測試的需求。同時探針座和業界所有主流的各種探針兼容，也大大降低了用戶的使用成本。
該設備主要技術規格：
1. 可滿足18英寸的晶圓基底的測試要求，并能兼容處理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2. 主要應用領域：器件性能、MEMS、光電子學、納米研究、光伏電池、失效分析及材料等相關領域
3. 可做直流和微波測試。
4. 系統可在客戶現場升級。
5. 可增加高低溫及屏蔽系統。
6. 手動或者半自動方式探針測試方式。
7. 系統具有完善的通信接口，并可搭載loadpull, 激光測振及電學信號測試等不同的外圍設備。
8. 可搭載各規格探卡。
9. 主要部件可依據實際要求定制。
10. 探針臺控制軟件功能強大，開放代碼，留有多個接口，可以把用戶的測試端軟件集成到總的控制軟件內，方便用戶在一個統一的界面下進行各種操作。例如可以把LabView的操控集成進入探針臺控制軟件，在主界面生產LabView的圖標，直接在探針臺控制軟件下統一操作
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