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產地:美國 品牌:Agilent
氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點,達到了細檢漏的目的。其主要特點如下: 1. 體積小巧,占地小,特別適合大學和研究所小批量研發應用 2. 可檢測漏率:5x10-12 mbar.l/s 3. 響應時間:<0.5秒 4. 可無線遙控操作 5. 具有RS232通信接口
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