產地:德國
品牌:Accurion
Accurion 可以在半導體等諸多領域里提供主動減振解決方案,其產品廣泛應用于許多微觀和納米技術領域:
1. 掃描探針顯微技術(AFM, STM)
2. 納米力學探針
3. 掃描電子顯微技術(SEM, FE-SEM)
4. 共聚焦顯微術
5. 超高真空掃描隧道顯微術(UHV-STM)
6. 激光掃描顯微鏡
7. 液晶生產設備 ? 半導體檢測儀器
8. 膜片鉗 (Patch-Clamp)技術
9. 光學輪廓儀 光學干涉儀
減振機理: 控制技術主要由壓電陶瓷加速度感受器,快速處理及電子動態作用力傳感器實現。
作用力方向:空間六自由度的主動補償。
自動負載調節和運輸鎖定
優異的位置穩定性
沒有自然的低頻共振,因此在低于5Hz的頻率范圍內也具有出色的振動特性
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